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德國Leybold真空計常見種類都有哪些呢

更新時間:2021-09-07點擊次數:993
   德國Leybold真空計是測量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。按照真空儀測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能,利用氣體動力學和利用帶電粒子效應的真空儀。
  德國Leybold真空計常見種類有下面這些:
  1.熱傳導真空儀
  利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空儀中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數,故熱絲的溫度隨壓強而變化。如用一附加的熱偶測量熱絲的溫度,則這種規頭稱為熱偶規;如利用熱絲本身的電阻值來反映溫度,則稱電阻規或皮喇尼規。氣體熱傳導只在低壓強 (P<100帕)下隨壓強變化,而低至10-1帕時氣體熱傳導又不是主要的散熱方式,因此熱傳導真空儀主要用于100~10-1帕范圍,采取特殊措施可擴大測量范圍。
  2.皮拉尼真空儀
  其工作原理是:真空度不同,單位體積內的空氣分子數就不同,對于正在發熱的電阻絲帶走熱量的能力(散熱能力)就不同,電阻絲溫度就不同,因為電阻絲的電阻率是溫度的函數,所以不同的真空度就引起了電阻率的不同,則電阻就不同,電流在電阻絲上的壓降就不同,根據電壓的變化就能換算出空氣壓強,也就是測量真空度。
  3.電容薄膜真空儀
  電容薄膜真空儀也是德國Leybold真空計的一種,它屬彈性元件真空儀,彈性薄膜將規管真空室分為兩個小室,即參考壓強室和測量室。測量低壓強 (P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應改變,通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應壓強值。為了防止薄膜發生蠕變,通常采用零位法測量,即在固定電極和薄膜之間加一直流電壓,利用靜電力補償薄膜受壓強差而產生的應力,使膜片保持零位。電容薄膜真空儀可直接測量氣體或蒸氣的壓強,測量值與氣體種類無關、結構牢固、可經受烘烤,如對不同壓強范圍采用不同規頭,可得到較高精度。電容薄膜真空儀可用于高純氣體監測、低真空精密測量和壓強控制,也可用作低真空測量的副標準。
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